干涉儀原理 目錄 干涉儀配置圖
輕便型激光干涉儀: F601
可實(shí)現(xiàn)對(duì)平面板平面度、球面面精度、曲率半徑的高精度測(cè)定。
激光干涉儀光圈檢查裝置: F601FC
檢查光圈數(shù)目的專用儀器,最初用標(biāo)準(zhǔn)器調(diào)整后,接著只需要裝上鏡片即可方便地完成測(cè)定,大幅度削減檢查成本。
激光干涉儀光圈檢查裝置: F601FCⅡ
與其他F601系列干涉儀可互換鏡頭,是F601FC的簡(jiǎn)化版,測(cè)量范圍廣,性價(jià)比高。
激光干涉儀: G102
適用于較大口徑的平面板平面度測(cè)定,較大口徑、曲率半徑的球面面精度、曲率半徑測(cè)量。
條紋分析系統(tǒng)
采用位相移動(dòng)法進(jìn)行測(cè)量,能夠?qū)⒈砻嫘螤顢?shù)值化、視覺(jué)化、測(cè)量重復(fù)性好。同時(shí),還有專門為F301系列干涉儀配置使用的FT-10(傅立葉變換法)條紋分析系統(tǒng)。
附件
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